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产品简介

PRODUCT INTRODUCTION


全自动LED晶圆清洗机

C2000系列是针对4 inch LED 晶圆的全自动清洗设备 可依据客户需求定制上下料方式和清洗工艺。

产品描述

产品特点:

1.清洗工艺:双清洗腔体,毛刷清洗加二流体冲洗,甩干;

2.4工位,自动上下料

3.兼容大小环;

4.片环或产品条形码读取功能(BCR);

5.SECS GEM功能; 

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