产品简介
PRODUCT INTRODUCTION
全自动LED晶圆清洗机
C2000系列是针对4 inch LED 晶圆的全自动清洗设备 可依据客户需求定制上下料方式和清洗工艺。
产品描述
产品特点:
1.清洗工艺:双清洗腔体,毛刷清洗加二流体冲洗,甩干;
2.4工位,自动上下料
3.兼容大小环;
4.片环或产品条形码读取功能(BCR);
5.SECS GEM功能;
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