产品简介
PRODUCT INTRODUCTION
全自动晶圆 or QFN清洗机
C3000系列是针对8&12英寸 晶圆或QFN的全自动清洗设备.可依据客户需求定制上下料方式和清洗工艺。
产品描述
产品特点:
1.双清洗腔体,二流体冲洗或高压水清洗,甩干;
2.2工位,自动上下料
3.兼容多种产品尺寸;
4.片环或产品条形码读取功能(BCR);
5.SECS GEM功能;
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