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产品简介

PRODUCT INTRODUCTION

全自动晶圆导片+激光刻印机

YLM系列是针对4至12 inch wafer的全自动激光laser 设备.支持wafer ID刻印， Die 标定点刻印和wafer身份识别自动贴标的功能集成。可依据客户需求选择从Jar box ,foup,fosb,或者wafer cassette自动上下料。

产品描述

产品特点：

1.Barcode 扫描调程

2.蛋糕盒上料，Open cassette&FOUP 出料。支持料盒 mapping

3.Wafer ID读取比对

4.CCD Notch定位

5.工控机+Windows系统

6.SECS/GEM

7.Wafer Map自动调取比对

8.wafer ID，识别标识，NG die刻印

9.THG laser 无热应力损伤,高发色刻印

10.高精度，高效率

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